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Grinding machine Disco DFG8560
DFG8540/8560是在全球拥有大量用户的DFG800系列的升级机型。该机型在保持与800系列相同技术指标及性能的同时，在设备重量方面实现了重大改进。DFG8540重量比原机型减轻1.2吨（较DFG850降低28%），DFG8560重量比原机型减轻1.0吨（较DFG860降低20%）。
顺应晶圆技术发展趋势，实现超薄、大直径晶圆加工
集现有研磨机技术之大成
实现100µm以下超薄晶圆的精密研磨
具备对应超薄研磨精加工技术的系统扩展功能
统一研磨加工点，提升加工可靠性
保持与现有DFG800系列的兼容性及零部件互换性
操作简便
| 项目 | 项目/单位 | 设备详情 | ||
|---|---|---|---|---|
| 机 型 | DFG8560 | |||
| 晶圆直径 | φ 300毫米 | |||
| 研磨方式 | 晶圆旋转进给式研磨 | |||
| 研磨轮 | 金刚石砂轮 (φ 300毫米) | |||
| 主轴 | 额定输出功率/kW | 4.8 | ||
| 额定转速范围/min⁻¹ | 1,000 ~ 4,000 | |||
| 研磨精度 | BG | 片内厚度变化/μm | 3.0 或以下 (使用专用吸盘, φ 300毫米晶圆) | |
| 片间厚度变化/μm | ±3.0 或以下 | |||
| 加工表面粗糙度/μm | Ry 0.13 (使用#2000号 finish) Ry 0.15 (使用#1400号 finish) | |||
| 机器尺寸(宽×深×高)/mm | 1,400 × 3,322 × 1,800 | |||
| 机器重量/kg | 约 4,000 | |||
| 是否全新 | 二手设备 | |||
