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STM7 Measurement microscope
STM7 是一款高精度半自动晶圆贴膜机。它专为研发、小批量生产或需要灵活操作的场景设计,由操作员手动放置晶圆和环框,设备自动完成后续的精准对位、胶带贴敷和切割。它在操作简便性、占地面积和成本效益之间取得了良好平衡。
操作简单灵活:半自动设计降低了操作复杂度,非常适合产品种类频繁切换的柔性生产环境。
高精度贴装:尽管是半自动机型,仍配备了精密的机械对位机构或基础的视觉系统,确保贴装精度。
卓越的性价比:以低于全自动设备的投入,实现高质量的贴膜工艺,投资回报率高。
占地面积小:结构紧凑,非常适合洁净室内空间有限的布局。
稳定的工艺性能:采用可靠的压辊系统和张力控制,确保胶带贴敷无气泡、无褶皱。
| 项目 | 参数 |
|---|---|
| 机型 | HR8500III |
| 适用晶圆尺寸 | 100mm, 150mm, 200mm (可选配置) |
| 设备尺寸 (宽×深×高) | 约 600mm × 850mm × 550mm (具体因配置而异) |
| 设备重量 | 约 90 kg |
| 电源要求 | AC100V (±10%), 50/60Hz, 单相 |
| 功耗 | 约 0.3 - 0.5 kW |
| 气源要求 | 0.5 - 0.7 MPa 洁净干燥空气 (CDA) |
| 耗气量 | < 100 L/min (ANR) |
| 处理能力 (UPH) | 约 30-45 片/小时 (取决于操作员熟练度与晶圆尺寸) |
| 贴敷精度 | ± X μm (具体数值需参考官方规格书) |
| 是否全新 | 二手设备 |