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UV machine RAD-2010m 12
专用于300mm晶圆环框UV切割胶带的半自动紫外线照射系统
占地面积更小
操作性能优化
可视性提升
可选配150mm环框双面照射功能
| 项目 | 参数 | |
|---|---|---|
| 机型 | RAD-2010m 12 | |
| 电源 | 电压 | AC200-230V ±10% (±AC190-253V) |
| 频率 | 50/60Hz | |
| 相数 | 单相 | |
| 容量 | 4.0kW | |
| 气源 | 气压 | 0.5-0.8MPa |
| 耗气量 | >10L/min (AMR) | |
| 氮气源 | 氮气压力 | 0.29-0.31MPa |
| 氮气消耗量 | >30L/min (AMR) | |
| 适用环框尺寸 | 300mm晶圆专用环框 * 支持150mm和200mm环框 * 支持150mm晶圆环框双面照射 | |
| 外形尺寸 | 宽：870mm × 深：1,080mm × 高：1,185mm | |
| 重量 | 约300kg | |
| 处理能力 | ≤22秒/片（不含设置时间） | |
| 是否全新 | 二手设备 | |
