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DR8500III Film laminating machine
DR8500III 是一款用于晶圆背面研磨前工序的全自动保护膜贴敷设备。它通过在晶圆电路表面自动、精准地贴敷保护膜，防止其在后续的搬运与研磨过程中受损，是实现超薄晶圆加工的关键设备之一。
高精度贴敷：采用先进的视觉对位系统与运动控制，确保保护膜无气泡、无褶皱、无污染地精准贴敷。
高生产效率：全自动化设计，集成晶圆自动上下片与成品自动收料，可实现连续批量生产，UPH高。
广泛兼容性：支持多种晶圆尺寸，并能兼容不同型号和粘度的保护膜，适应多样化的工艺需求。
稳定可靠：坚固的机械结构与精密的控制系统确保了设备在24/7连续生产环境下的长期稳定性。
用户友好：配备大型触摸屏，操作界面直观，方便进行配方管理、工艺参数设定和设备监控。
| 项目 | 参数 |
|---|---|
| 机型 | HR8500III |
| 适用晶圆尺寸 | 200mm / 300mm (可根据配置选择) |
| 设备尺寸 (宽×深×高) | 约 1,350mm × 1,700mm × 1,800mm (具体可能因选项而异) |
| 设备重量 | 约 1,500 kg |
| 电源要求 | AC200-230V (±10%)， 50/60Hz， 单相/三相 |
| 功耗 | 约 1.0 - 2.0 kW (视配置而定) |
| 气源要求 | 0.5 - 0.8 MPa 洁净干燥空气 (CDA) |
| 耗气量 | > 150 L/min (ANR) |
| 处理能力 (UPH) | > 60片/小时 (基于300mm晶圆测试条件) |
| 贴敷精度 | ± X.X μm (具体数值需参考官方规格书) |
| 是否全新 | 二手设备 |
