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AP100 Plasma cleaning machine
诺信MARCH AP-1000系统专为满足高性能制造环境中24小时连续运行的严苛要求而设计。该系统以无与伦比的可靠性、安全性和操作简便性，提供均匀的等离子体处理。
AP-1000系统为全集成式设计，占地面积最小。泵、腔体、控制电子设备和13.56 MHz射频发生器均集成于单一机箱内。全面的前部访问设计便于维护所有内部组件。泵安装在滚轮上，便于轻松移出。
等离子体工艺腔由11号标准不锈钢制成，配备铝合金夹具，具有卓越的耐用性。腔体内配有多层可拆卸和可调节的层架，可容纳多种载具，包括料盒、托盘、晶圆载具以及Auer®舟。
采用带触摸屏的PLC控制器，提供直观的图形界面和实时工艺可视化
灵活的层架结构可处理多种载具，支持直接或下游等离子体处理模式
13.56 MHz射频发生器配备自动阻抗匹配功能，确保卓越的工艺重现性
专属软件控制系统可生成工艺与生产数据，用于统计过程控制
| 项目 | 参数 | |
|---|---|---|
| 机型 | AP1000 | |
| 机箱尺寸 | 外形尺寸 (宽×深×高) | 680×1127×1890 毫米 (26.77×62.3×74.4 英寸) |
| 净重 | 485 公斤 (1069 磅) | |
| 设备维护间距 | 左右侧：153 毫米 (6 英寸) 前侧：680 毫米 (27 英寸) 后侧：至少 483 毫米 (19 英寸) | |
| 工艺腔 | 最大容积 | 127 升 (7774 立方英寸) |
| 电极配置模式 | 电源-接地、接地-电源、电源-电源 | |
| 电极位置数量 | 14 | |
| 电极间距 | 600W机型：25.4 毫米 (1 英寸) 1000W机型：50.8 毫米 (2 英寸) | |
| 电极 | 通电工作区 | 349宽×425深 毫米 (13.74×16.73 英寸) |
| 接地/穿孔工作区 | 384宽×425深 毫米 (15.12×16.73 英寸) | |
| 悬浮工作区 | 349宽×425深 毫米 (13.74×16.73 英寸) | |
| 射频电源 | 标准功率 | 600 W |
| 可选功率 | 1000 W | |
| 频率 | 13.56 MHz | |
| 气体控制 | 可用流量范围 | 10, 25, 50, 100, 250, 500, 1000, 2000 或 5000 sccm |
| 最大质量流量控制器数量 | 4 | |
| 控制与接口 | 软件控制 | 带触摸屏界面的PLC控制 |
| 远程接口 | Plasmal INK, ProcessLINK, SECS/GEM | |
| 真空泵 | 标准湿式泵 | 53 cfm，配氧气油雾消除器 |
| 可选湿式泵 | 53 cfm，配耐腐蚀油雾消除器 | |
| 可选吹扫干式泵 | 63 cfm | |
| 氮气吹扫流量 | 14 slm | |
| 冷却水吹扫流量 | 5 slm | |
| 设施要求 | 电源 | 220V/25A/50-60Hz/三相/8AWG/4线 或380V/25A/50-60Hz/三相/8AWG/5线 |
| 工艺气体接口尺寸与类型 | 6.35毫米外径Swagelok接头 | |
| 工艺气体纯度 | 实验室级或电子级 | |
| 工艺气体压力 | 最小0.69 bar - 最大1.03 bar，需稳压 | |
| 吹扫气体接口尺寸与类型 | 6.35毫米外径Swagelok接头 | |
| 吹扫气体纯度 | 实验室级或电子级氮气/洁净干燥空气 | |
| 吹扫气体压力 | 最小2 bar - 最大6.9 bar，需稳压 | |
| 气动阀接口尺寸与类型 | 6.35毫米外径Swagelok接头 | |
| 合规性 | 气动气体纯度 | 洁净干燥空气，无油，露点≤7°C，颗粒尺寸<5µm |
| 气动气体压力 | 最小3.45 bar - 最大6.89 bar，需稳压 | |
| 排气接口 | 38毫米外径管道法兰 | |
| SEMI标准 | S2/S8 (环境健康安全/人机工程学) | |
| 国际认证 | CE标志 | |
| 辅助设备 | 气体发生器 | 氮气、氢气（需额外硬件支持） |
| 配套设施 | 冷却器、废气处理装置 | |
| 是否全新 | 二手设备 | |
